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中芯国际向荷兰ASML订购的光刻机到货今朝已顺利入驻深圳工厂

  来自广东位置媒体的报说,中芯国际深圳工场正在即日告成的接受了一台光刻机,该光刻机阅历出口加工区场站两说闸口参加厂区。

  按照此前中芯国际官方的展现,当今中芯国际深圳工场正正在竭力举行坐蓐,这台新到货的光刻机将用于复产后的生产线扩容。从多方面原料的剖析来看,这台呆滞理当是用于生产14nm造程芯片的,并不是此前我们都意愿看到的7nm DUV以至是7nm EUV工艺。

  当今中芯国际最有能够不妨引进到的最新光刻机是ASML的第一代7nm DUV工艺光刻机,至于加倍前辈的7 nm EUV工艺光刻机,现在不论是ASML仍旧其股东英特尔、三星和台积电都不自愿卖给中芯国际。

  实在中芯国际早正在2018年就向ASML订购了一台EUV光刻机,双方接头的是2019年初交付装备。不外,这台光刻机的交付之叙可谓崎岖众舛,当前来看,ASML依然屏弃了向中芯邦际交付7nm EUV光刻机磋议。